![metal gate 製程](https://host.easylife.tw/pics/201212/Czech22_IronGate/IMG_2727.jpg)
metal gate 製程
...製程技術以採用高介電層/金屬閘極(High-kMetalGate,HKMG)的後閘極(Gate-last)技術為主。相較於前閘極(Gate-first)技術,後閘極技術具備較低的漏電流以及能 ...,我們發現對元件的High-K-Metalgate界面作CF4電漿處理,並在製程中施加較低溫的PMA,可得到功...
奈米級P型高介電金屬閘極之金氧半電晶體製程最佳化與 ...
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由YWChen著作·2012—為了維持互補型金氧半電晶體(CMOS)持續的微縮尺寸,高介電常數(High-k)介電層與金屬閘電極(Metalgate)技術已成為邏輯CMOS製程技術基礎。然而金屬閘電極的功函數 ...
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