![metal gate 製程](https://host.easylife.tw/pics/201212/Czech22_IronGate/IMG_2727.jpg)
metal gate 製程
...製程技術以採用高介電層/金屬閘極(High-kMetalGate,HKMG)的後閘極(Gate-last)技術為主。相較於前閘極(Gate-first)技術,後閘極技術具備較低的漏電流以及能 ...,我們發現對元件的High-K-Metalgate界面作CF4電漿處理,並在製程中施加較低溫的PMA,可得到功...
TW201904063A
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本發明係有關於一種具有金屬閘極(metalgate)之半導體元件及其製作方法,尤指一種實施後閘極(gatelast)製程與後閘極介電層(high-klast)之具有金屬閘極之半導體元件及其 ...
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