immersion lithography 原理
,2018年3月4日—浸没式光刻技术是在传统的光刻技术中,其镜头与光刻胶之间的介质是空气,而所谓浸入式技术是将空气介质换成液体。实际上,浸入式技术利用光通过液体介质后 ...,幸而最近在光學微影設備之技術上有新的創新技術,稱為液體中曝光微影術(Liquidimmersion...
浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天?
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2012年12月20日—浸潤式微影技術被如此快速接受的原因,是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersionmicroscopy)原理。該原理可回溯至1600年代,由英國自然哲學家 ...
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