EUV lithography 原理
2021年5月27日—紫外光經過光罩後,利用各種光學原理將光束射在晶圓上,就可以在上面刻出精細的電路圖了。我們再把這片晶圓切成一顆顆原始晶片。而因為這項技術牽涉到光的 ...,EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫...
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