何謂微影技術
•極紫外線(EUV)微影技術.•X光微影技術.•電子束(E-beam)微影技術.晶圓.遮蓋板.透鏡.透鏡.透鏡.電子槍.折射光圈.散光像差補償.器.44.相位移光罩圖案化.,黃光微影製程技術.LithographyProcessTechnology.楊啟榮博士.副教授.國立台灣師範...○光罩繪製是微影製程最基本步...
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- 微影技術原理
微影系統本質上是一個投影系統,利用光線穿透印有電路圖的光罩,在矽晶片上投印出電路圖。光罩上的電路圖是實際在晶片上呈現圖案的4倍大。透過光線投射出光罩上的圖案,微 ...
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