何謂微影技術
•極紫外線(EUV)微影技術.•X光微影技術.•電子束(E-beam)微影技術.晶圓.遮蓋板.透鏡.透鏡.透鏡.電子槍.折射光圈.散光像差補償.器.44.相位移光罩圖案化.,黃光微影製程技術.LithographyProcessTechnology.楊啟榮博士.副教授.國立台灣師範...○光罩繪製是微影製程最基本步...
微影製程再進化!複雜電路的祕密
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微影製程是將電路圖案,透過已刻好圖案的光罩及光阻,「轉印」到晶圓上的過程。舉例來說,在已有一層二氧化矽薄膜的晶圓上(見下圖),我們希望在特定位置蝕刻出一個 ...
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